Производство современных микроэлектронных изделий требует особого контроля на всех этапах соответствующего технологического процесса. Именно поэтому к качеству и характеристикам оборудования, предназначенного для такого контроля, предъявляются достаточно высокие требования. Это полностью справедливо и в отношении оптических микроскопов, которые широко используются при визуальных наблюдениях. Поэтому их правильный выбор очень важен, особенно для исследовательских и производственных лабораторий по микроэлектронике. Ведь специфика отрасли требует особого подхода, в том числе и в отношении используемого в ней оборудования.


На что же следует обращать внимание в первую очередь? Большое значение для обнаружения дефектов имеет высокая разрешающая способность прибора, а также точное позиционирование и перемещение предметного столика. Достаточно хорошо соответствуют данным критериям металлографические микроскопы, которые предлагает своим покупателям компания «Альтами». Например, модель МЕТ 3МТ-ДИК помимо наблюдений в отраженном свете имеет возможность проводить исследования по методу дифференциально-интерференционного контраста. Благодаря этому наблюдаемая картинка имеет достаточно высокий контраст и высокую разрешающую способность, что очень важно для обнаружения неровностей рельефа поверхности. К тому же предметный столик данного микроскопа достаточно большой, что бы разместить на нем предметы значительных размеров. К ним могут относиться печатные платы, фотошаблоны, электронные компоненты и т.п.

Из микроскопического оборудования «Альтами» для микроэлектроники можно отметить и стереомикроскопы: например, модель СМ0745. Этот прибор, который дает прямое объемное изображение исследуемого объекта, детально подходит для контроля печатных плат и устранения дефектов пайки. Однако, если требуется контроль за интегральными микросхемами, стоит предпочесть прибор с большим полем зрения и режимом Zoom (плавная регулировка увеличения).

Можно также рекомендовать использовать цифровой микроскоп, в конструкцию которого включена видеокамера, работающая по протоколу USB 3.0. Данный интерфейс обеспечивает высокую скорость обмена информации, достаточную для передачи картинки без задержек и торможения. Это очень важно при работе с печатными платами и микроэлектронными компонентами. Кроме того, в случае необходимости изображение можно вывести на внешний экран большого размера.